台阶仪
联系人:刘园园
联系邮箱:liuyy@fudan.edu.cn
放置地点:江湾校区先进材料楼229室
设备型号:Alphastep D-300
设备厂家:科磊(KLA)
主要规格及技术指标:垂直分辨率:0.38 ?,最大垂直测量范围:1000 μm,最小正压力:0.5 mg,最大采样点数:4×105。
主要功能及特色:二维台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力测量。大小量程双探测器设计,在大量程(1 mm)时不丢失仪器的最高分辨率0.38 ?和最高精度5 ?。
收费标准:详见材料科学系共享仪器平台仪器收费标准(2021年9月起实施)。
版权所有:复旦大学材料科学系
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